ATEC万向球/防震用滑动滑块/地震专用装置 CRX
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- ATEC万向球/防震用滑动滑块/地震专用装置 CRX
- ATEC爱泰克
- PVP16BU(D)-SU(D)S
- 日本
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クリーンルームで使用するプレインベアは、ガラス基板などの製造工程における、様々な使用環境(耐磨耗・耐熱・静電防止・真空環境など)によってその材質や洗浄レベルを変える必要性があります。 エイテックでは、クリーンブース内、クリーンベンチにて組み立てから梱包までを行っています。パーツ単位では、脱脂・専用クリーナーを使用しての純水洗浄を行い、ボールの加工時に表面に付着した樹脂粉も極限まで除去しています。
产品详细介绍
クリーンルーム対応プレインベア [樹脂タイプ]
PVP20B series (PAT.P) 走行発塵・耐久走行データ
クリーンボックス内で走行させた時の一立方フィート辺りのパーティクルデータを測定しています。
■ 試験仕様
走行発塵テスト:測定型式 | PVP20BJ-JJ(大ボール:POM/小ボール:POM/本体:POM) |
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耐久走行テスト:測定型式 | PVP20BU-JJ( 大ボール:UHMWPE/小ボール:POM/本体:POM) |
試験荷重 | 14.7N(1.5kgf) |
走行速度 | 300mm/sec |
PVP 接触面 | ガラス片を使用 |
■ クリーンボックス内環境
未走行時発塵データ | PARTICLE 0.3μ:2個/PARTICLE 0.5μ:0個 |
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ボックスファン連続稼動 | 能力:11.0m3/min 〈 NIC Autotec, Inc. 〉 |
計測機器 | AIR BORNE PARTICLE COUNTER RION HHPC-2 能力:0.1cf/min (1km走行毎に10分間吸引) |
走行時間 | 1日10時間 連続走行30日間 |
■ PVP20BJ-JJ 走行発塵データ
■ PVP20BU-JJ 耐久走行データ
※その他の材質のデータもご用意してあります。ご希望の仕様等がございましたらお気軽にお申し付けください。
各種プラスチックの材質を選定することにより、ガラス面のダメージを抑え、条件に合わせた搬送・位置決めに適応させます。支持用プラスチックピンなどを 使用した従来の位置決め方法より軽く、発塵も少ないのが特長です。
ボルト部に穴加工を施すことにより内部に入り込んだ細かな粉塵を吸引することができます。(オプション)